想必大家對氧化鋁各方面都有一定的了解了，還有一些比較深入的問題需要跟大家討論一下，下面就為大家介紹氧化鋁的改性知識：
　　為了提高氧化鋁磨料分散穩(wěn)定性和防止團(tuán)聚，利用丙烯酰氯對氧化鋁進(jìn)行了表面改性，并用XPS、激光粒度儀、SEM對其進(jìn)行表征，結(jié)果表明改性后的氧化鋁分散性明顯提高；研究了改性后氧化鋁在數(shù)字光盤玻璃基片中的化學(xué)機械拋光特性，即外加壓力、拋光時間和下盤轉(zhuǎn)速對玻璃基片去除量的影響，并對其CMP機制進(jìn)行了推斷，結(jié)果表明，材料去除量隨下盤轉(zhuǎn)速、壓力變化趨勢相近，即隨著壓力的增加或下盤轉(zhuǎn)速的提高，材料去除量先增大后減??；隨拋光時間延長，拋光初期材料去除量增加較快，但在后段時間內(nèi)去除量增加趨勢趨于平緩。
　　對于氧化鋁的改性知識了解了之后，在以后的使用中相信會為大家?guī)砀蟮膸椭瑢τ谝陨系闹R就為大家介紹到這了。